
Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие
Магазин: Лабиринт
Артикул: 932822
1 085,00 руб.
Купить с кэшбэком
до 5,00%
до 5,00%
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Отправьте эту ссылку другу. Если друг совершит покупку этого товара – вы получите за него кэшбэк.
Для получения кэшбэк-ссылки вам нужно Войти или Зарегистрироваться.